氟樹脂在超高(gāo)純試劑生産中廣泛應用，氟樹脂材料由含氟原子(zǐ)的(de)單體通過均聚或共聚反應而成，目前使用中的(de)氟樹脂品種主要有(yǒu)聚四氟乙烯（PTFE）、聚三氟氯乙烯（PCTFE）、聚偏氟乙烯（PVDF）、聚氟乙烯（PVF）、四氟乙烯－六氟丙烯共聚物（FEP）、乙烯－三氟氯乙烯共聚物（ECTFE）、乙烯－四氟乙烯共聚物（ETFE）和(hé)四氟乙烯－全氟烷基乙烯基醚共聚物（PFA）。在濕電子(zǐ)化學(xué)品生産領域應用的(de)氟樹脂主要為(wèi)PTFE和(hé)PFA。  

      PTFE樹脂占所有(yǒu)氟塑材料應用的(de)70%左右，由于其獨有(yǒu)的(de)分子(zǐ)結構，使材料具有(yǒu)優異的(de)耐腐蝕性，耐酸抗堿、抗大部分溶劑的(de)特點。同時，PTFE具有(yǒu)耐低(dī)溫和(hé)相對高(gāo)溫的(de)特點，工作溫度範圍可(kě)達到-80℃~200℃。   

      PFA為(wèi)四氟乙烯和(hé)全氟丙基乙烯基醚（FVE）的(de)共聚物，分子(zǐ)結構與PTFE十分接近，很多性能也非常接近。最大的(de)不同是，PFA可(kě)以熔融加工、注塑、擠出等，所以PFA又稱為(wèi)可(kě)熔性PTFE。    

      氟樹脂材料在與高(gāo)純化學(xué)試劑接觸時，幾乎沒有(yǒu)不純物質的(de)溶出，且耐腐蝕性優異，具備長(cháng)期使用也能保持純度的(de)優異特性。在應用于超淨高(gāo)純化學(xué)試劑的(de)氟樹脂中，尤其以PTFE與PFA最為(wèi)廣泛，其耐腐蝕性更加優異，耐蝕高(gāo)純化學(xué)試劑的(de)品種更加廣泛。  

對于氟樹脂材料（PTFE和(hé)PFA）的(de)

指标要求

1.樹脂使用技術要求   

1）金屬離(lí)子(zǐ)的(de)析出SEMI3及以上的(de)超淨高(gāo)純化學(xué)品中，其産品在包裝儲運和(hé)使用過程中，單項金屬離(lí)子(zǐ)要求保持在ppb甚至ppt級的(de)水平。因此，對預期接觸的(de)所有(yǒu)材料必須也保持相應技術水平，保證無過量金屬離(lí)子(zǐ)析出。

2）顆粒數持續增長(cháng)：若樹脂材料的(de)在分子(zǐ)水平上出現過量的(de)分子(zǐ)斷裂或者溶出，會導緻在電路濕制程當中引起大量産品污染和(hé)線路缺陷。 

3）小分子(zǐ)滲透：超淨高(gāo)純化學(xué)試劑分子(zǐ)量一(yī)般相對較小，滲透性強，而樹脂在生産中容易出現大分子(zǐ)間隙，導緻分子(zǐ)溢出，可(kě)能會對儲運設施外層金屬産生微量腐蝕，而微量的(de)腐蝕污染足以導緻産品失效。

2.樹脂制造技術要求  

1）材質的(de)純淨度，保證不對産品造成二次污染；

2）樹脂聚合中分子(zǐ)量分布盡可(kě)能的(de)窄；

3）聚合過程中支鏈的(de)控制技術；

4）功能添加劑的(de)選擇穩定性和(hé)溢出控制。

在濕電子(zǐ)化學(xué)品生産中，

氟樹脂主要用于的(de)四大領域

1）濕電子(zǐ)化學(xué)品生産中鋼襯PFA/PTFE設備 

      鋼襯PFA/PTFE設備分為(wèi)塔器、罐體、管道(dào)和(hé)泵閥等，其特點在于不僅鋼制容器強度高(gāo)，而且在強腐蝕介質的(de)工況下仍能保證

-80℃~200℃的(de)溫度區間應用。緻密的(de)PFA/PTFE層保證其适用大部分電子(zǐ)化學(xué)品生産工況。    

      鋼襯PFA/PTFE容器可(kě)分為(wèi)模壓、闆襯、噴塗等工藝，視(shì)不同工況可(kě)以選擇不同的(de)內(nèi)襯工藝，成品使用需通過标準離(lí)子(zǐ)浸出實驗；電子(zǐ)化學(xué)品生産成品包裝、儲存、運輸一(yī)般采用更嚴格的(de)超純PFA襯裏設備。目前PFA樹脂主要生産廠家為(wèi)科(kē)慕（杜邦）、大金、旭硝子(zǐ)等國(guó)外廠商(shāng)。PTFE樹脂國(guó)內(nèi)廠商(shāng)有(yǒu)東嶽、巨化等，并且開始有(yǒu)少量試生産PFA樹脂。

 2）濕電子(zǐ)化學(xué)品精餾用PFA/PTFE分離(lí)填料

      PFA/PTFE分離(lí)填料具有(yǒu)通量大、效率高(gāo)等特點，廣泛用于超純物系的(de)吸收和(hé)精餾。規整填料分離(lí)效率在中等噴淋密度時與同樣比表面積的(de)金屬規整填料相比高(gāo)約7.8%；在模拟計算和(hé)實際設計的(de)時候，精餾塔比相類似的(de)金屬塔要略高(gāo)；PFA/PTFE鮑爾環和(hé)拉西環等散堆填料，在吸收時用的(de)比較多，例如(rú)用于SO3吸收制超純硫酸工藝。

3）濕電子(zǐ)化學(xué)品精餾提純用主要內(nèi)構件

      PFA/PTFE管式、槽盤式分布器、複合支撐和(hé)除霧器等，這些內(nèi)構件對汽液平衡、汽液均勻分布具有(yǒu)不可(kě)或缺的(de)作用，特别是除沫器和(hé)除霧器的(de)應用對霧沫夾帶和(hé)微小液滴（3µm以下）起着重要作用。3µm以下的(de)需要采用纖維除霧器去(qù)除。這也是精餾提純電子(zǐ)化學(xué)品的(de)關鍵步驟之一(yī)。

4）濕電子(zǐ)化學(xué)品生産中的(de)熱交換設備

      列管式PFA/PTFE換熱器超強的(de)耐蝕防老化性能和(hé)超潔淨性能，使其廣泛應用于化工、酸洗、電鍍、醫藥和(hé)電子(zǐ)化學(xué)品等行(xíng)業。由于其耐溫性能極佳（-80℃～180℃），既适用于普通換熱及冷卻，亦适用于蒸汽加熱。    

      随着氟塑原材料生産技術和(hé)管材加工技術的(de)提高(gāo)，目前四氟管管壁厚度達到0.3～1.0mm，加之無垢下熱阻，在液液、汽液傳熱中總傳熱系數比較高(gāo)，總傳熱系數約200～300W/m2 ℃。與金屬列管式換熱器相比較，因采用毛細管，單位體積換熱面積大約1.5倍，換熱效率與同體積的(de)金屬換熱器相當。

半導體濕電子(zǐ)化學(xué)品，

未來發展需四輪驅動

      濕電子(zǐ)化學(xué)品的(de)應用受等終端市(shì)場限制和(hé)影響較大，其生産工藝和(hé)設備大都是國(guó)內(nèi)客戶從國(guó)外成套引進，而且目前超純PFA材料在短(duǎn)期內(nèi)難以國(guó)産化。更主要的(de)是，傳統的(de)鋼襯四氟行(xíng)業對高(gāo)純環境加工認識不足，加工技術難以掌握，限制了國(guó)産氟塑加工企業在電子(zǐ)化學(xué)品行(xíng)業的(de)發展。

針對目前的(de)現狀，提出以下四點建議： 

一(yī)是國(guó)産樹脂廠商(shāng)（如(rú)巨化、東嶽等）應加大超純樹脂産品研發力度和(hé)标準制定； 進一(yī)步聯合終端廠商(shāng)及研究院建立中試示範基地(dì)，不要隻追求“短(duǎn)平快'和(hé)利益最快化，要做(zuò)扶得起得阿鬥，拿得出手得泰鬥！

二是相關協會牽頭聯合研究設計院、生産廠商(shāng)及氟塑加工企業盡快制定材料和(hé)制造檢測标準，為(wèi)規範化使用超純氟樹脂奠定基礎； 

三是高(gāo)校和(hé)研究設計院以及生産廠商(shāng)聯合開發出相應的(de)電子(zǐ)化學(xué)品生産工藝包，規範相應的(de)工程設計； 

四是進一(yī)步聯合外資大品牌的(de)技術和(hé)人員，以及優秀專業的(de)氟化工經銷商(shāng)（比如(rú)像‘解放軍'一(yī)樣專業的(de)上海勁孚化工，而非'農民軍’級的(de)經銷商(shāng)），引導和(hé)構建高(gāo)質量産品、高(gāo)新技術交流的(de)橋梁。